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탈기장치 , Degassing system

초순수 및 현상액용

용존기체를 제거

용존 기체는 액체 중에 용해되어 있는 기체를 말합니다. 모든 액체에는 그 액체와

접하고 있는 기체와 같은 성분의 기체 분자가 일정량 녹아있습니다.

이것을 용존기체라고 합니다. 예를 들어서 공기 중에 노출되어 있는 물속에는 공기를

구성하고 있는 기체들이 일정하게 녹아 있습니다.

대기 중의 공기는 대부분이 질소와 산소이며 이산화탄소 등 기타의 기체가 미량 분포

되어있습니다. 이 중의 질소는 대략 79% 정도이며, 산소가 21% 정도입니다.

따라서 공기 중에 노출되어 있는 물속에는 질소가 79%, 산소가 21%의 분포로 용존

되어 있습니다.

DIGITAL PHLOX의 탈기장치

UDT/UDO Series 탈기시스템은 고효율의 기체 분리막과 독자 설계의 Air Ejector 방식 진공발생기를 채용하여 컴팩트하면서도 IN LINE으로 대유량의 탈기가 가능한 시스템

입니다.  또한 기포의 발생이 일어나지 않을 충분한 수준까지 탈기가 가능하기 때문에

처리유량이 많은 현상액이나 초순수의 탈기에도 적용 가능한 시스템입니다.

UDO Series

-UDO시리즈 탈기 시스템은 반도체,LCD 공정에서 사용하는 초순수 및 현상액 등의

 용존 기체를 제거하기 위한 탈기 장치  입니다.

-액체는 차단하면서 기체분자만을 투과시키는 중공사(Hollow Fiber) 형의 고효율

 기체 막을 이용하여 유체를 연속적으로 공급하면서 실시간으로 탈기를 하여 마이크로

 버블 ( Micro Bubble)의 발생을 원천적으로 방지 합니다.

-대유량과 고효율의 탈기가 가능하며, 컴팩트한 설계로 최소한의 설치 공간만을 필요로

합니다.

적용분야

-현상액 탈기(반도체/LCD 공정)

-초순수 탈기

-프린터용 잉크의 탈기

-UDO Series탈기 시스템은 user의 요청에 따라 spec 조정 가능

      현상공정 / 도포공정 / 세정공정 등  탈기장치는 선택이 아닌 필수 입니다.

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