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레지스트컵(바울) 세정기 , Resist cup Cleaner

-전용 세정액

RECOS

Coater Cup 세정

코터컵의 레지스트를 간단히 제거 합니다.

오존재생 장치를 통해서 용액에 용존 하는 레지스트 성분만을 분해 시킵니다.

액정장치용 레지시트 박리

기존의 아민계열 박리 장치와 비교 하면 금속에 대미지를 주지 않는 박리제입니다.세정

장치 안에서 리사이클 가능 하기때문에 원가 절감에 효과적입니다.

종래의 세정액

종래에...

Acetone, Xylene, MEK 등의 유기용매를 사용하여 세정합니다.

독성과 냄새가 강하고, 인화되기 쉬워서 화재의 위험이 크므로 소방법상의 규제를 받습니다.

세정액은 한번 만 사용하거나 증류정제하여 재생합니다.

RECOS

종래의 유기용제에 비하여…

-독성이 낮고. 인화점이 높아 (136 ℃) 화재의 위험이 낮으므로. 소방법의 규제를 받지 않습니다.

-냄새가 거의 없고. 물에 쉽게 용해 됩니다. （세정후 순수린스가능）

-RECOS액은 오존에 잘 분해되지 않고, RESIST는 오존에 보다  잘 분해 되므로 오존에 의한 RECOS액의 재생이 가능합니다.

PHLOX